赛巴综合服务商    

SEBA（俗称塞巴）是半导体高纯湿化学流体控制厂商，对标英特格流体管路阀门组件，不做过滤器、晶圆载具、化学品、前驱体，聚焦 PFA/PTFE 高纯阀门、流量测量、压力传感、管路接头，主要用于湿法清洗、刻蚀后处理、化学品输送、CMP 供液回路。

和英特格差异：英特格是全链条（过滤 + 载具 + 化学品 + 流体系统）；SEBA 专注流体管路硬件（阀 / 流量计 / 变送器 / 接头管材），是 Fab 化学品输送回路关键部件供应商，国内湿法设备大量国产化替代选用SEBA。

一、PFA 高纯隔膜阀（核心主力，SANC 系列）

• 用途：半导体湿法机台、化学品供液柜，控制氢氟酸、硝酸、双氧水、显影液等强腐蚀高纯药液通断，分气动、手动两大系列。

• 主要特点

1. 全部接液材质PFA 氟塑料，极低金属析出、低颗粒释放，耐几乎所有强酸强碱溶剂，最高耐温 90℃。

2. 扩口式连接，无卡套缝隙，死区小，减少药液滞留滋生颗粒；兼容 Fab 标准管路规格。

3. 隔膜结构，介质不接触执行机构，杜绝外部污染进入药液；密封可靠，适合连续 24 小时 Fab 工况。

4. 多通径规格（4‑22mm），可与进口品牌直接互换，性价比高，交货周期短SEBA。

二、PTFE 止回阀 CV 系列

• 用途：防止药液回路倒流，用于化学品供液、超纯水回路。

• 主要特点

1. 无 O 型圈设计，整机机加工 PTFE，消除密封圈溶出污染风险SEBA。

2. PTFE 一体弹簧，开启压力低，回位密封性能好。

3. 抛光密封面，减少颗粒粘附；支持扩口 Parflare 接口，适配半导体管路标准SEBA。

三、PFA 流量计（涡轮 / 涡街）

• 用途：湿法清洗、显影、CMP 系统药液流量实时监测；覆盖微小流量到大流量。

• 主要特点

1. 接液 PFA/PTFE，抗腐蚀，适合含微量颗粒的 Slurry 浆料、各种化学品。

2. 4‑20mA 模拟信号输出，对接设备 PLC；涡轮适合微小流量；涡街可适应浆料介质不易卡滞。

3. 韩国原厂标定，重复精度高；大量用于三星、SK 海力士、国内头部面板、晶圆厂湿法设备。

四、PFA 压力变送器 / 传感器

• 用途：化学品管路、供液柜实时监测药液压力，防止压力异常损坏机台。

• 主要特点

1. 接液全 PFA，无金属接触药液，杜绝离子析出污染晶圆。

2. 抗腐蚀，可用于 HF 氢氟酸等强腐蚀介质；输出 4‑20mA 标准工业信号，可接入 Fab 监控系统。

3. 体积小巧，适配狭小的机台柜内安装空间SEBA赛...。

五、高纯管路系统组件

1. PFA 高纯管材：半导体级高纯 PFA 管，低析出，耐温耐腐，扩口适配 SEBA 阀门接头。

2. PFA 扩口接头、入珠接头：无死区管路连接，扩口密封，减少泄漏点，整套管路统一品牌，兼容性好。

3. PFA 针阀：手动微量流量调节，用于取样回路、旁路微调。

4. PTFE 隔膜泵、定量泵：高纯药液输送，用于小型供液单元，脉冲小，对药液扰动低SEBA赛...。

SEBA 产品共同核心特点总结

1. 全部聚焦湿化学流体回路硬件，不涉及过滤、材料化学、晶圆载具，定位化学品输送 “管路控制元器件”。

2. 接液全部 PFA/PTFE 氟塑料，低金属析出、低颗粒释放，适配 28nm 及以上制程湿法工艺。

3. 接口标准化，可替代进口（Entegris、Furon、Saint‑Gobain），价格与交期优势明显。

4. 广泛用于清洗、显影、剥离、CMP 供液，客户覆盖韩国三星、SK 海力士，国内晶圆厂、面板厂、半导体设备商。

SEBA vs 英特格（Entegris）简明对比

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