SEBA PFA 气动隔膜阀（SANC‑PA‑MF）是高纯强腐蚀药液通断开关阀，过流全部 PFA‑PTFE，扩口 / 入珠连接，多用于成熟制程 8‑12 寸晶圆厂 CDU、湿法设备、面板、光伏；先进 7nm 以下节点用的少，主流用于 28nm 及以上成熟工艺、功率半导体 SiC/GaN 产线。 介质：HF 氢氟酸、氨水、双氧水、显影液、各类酸、碱、电子级化学品、超纯水 DIW。
一、半导体晶圆制造
案例 1：化学品分配单元 CDU（Chemical Distribution Unit）
配置：SANC‑PA‑MF010 / 015（1/4"、3/8"），批量几十只集成在 CDU 机柜内部，搭配 SEBA PFA 接头、MSP‑2000 压力变送器、CV‑1 无 O 圈单向阀整套使用。
工况：实现多瓶药液切换、供液、回液、排空、冲洗；阀门频繁开关，介质为电子级氢氟酸、SC1/SC2 清洗药液、显影液。
价值：流道无死角，适配 CIP 在线冲洗；可加装阀位反馈传感器，PLC 确认阀门开关状态；机柜高密度紧凑排布；替代富士金、Parker，降低项目成本。
落地：国内多条 8 寸、12 寸成熟线、功率半导体产线 CDU 项目。
案例 2：湿法清洗机（WET 清洗设备）槽体供液回路
配置：SANC‑PA‑MF015‑A‑0
工况：清洗槽药液供给、排放、DI 水冲洗切换；RCA 清洗、预清洗工序；药液温度最高 80‑90℃。
痛点解决：PFA‑PTFE 隔膜，金属离子析出低，不会污染晶圆；耐双氧水、高温酸碱；气动自动控制，设备 PLC 直接控制药液开关。
案例 3：刻蚀机湿法模块、显影设备供液支路
配置：SANC‑PA‑MF010 小通径
工况：显影液、剥离液的机台端 Point‑of‑Use 使用点开关；过滤后到机台的末端通断。
说明：EUV/DUV 先进制程机台 POU，大多仍选用欧美日品牌；SEBA 更多用于成熟逻辑、存储、功率半导体 SiC/GaN 设备。
案例 4：CMP 化学机械抛光 药液供液系统
配置：SANC‑PA‑MF015
工况：抛光液化学添加剂、DI 超纯水开关控制；不接触研磨泥浆（泥浆会磨损隔膜），只用于清液回路。
案例 5：厂务超纯水系统 UPW
工况：超纯水分配支路开关，低析出，防止金属离子污染纯水；用于 Fab 厂务二次分配管路。
二、面板显示行业（LCD/OLED）
案例：TFT‑LCD 湿法工艺设备 CCSS 化学品供给系统
配置：大量 SANC‑PA‑MF 系列
工况：显影、蚀刻、剥离工艺药液输送；强腐蚀 TMAH、酸液；韩系面板厂、国内面板产线大量使用 SEBA 整套流体元器件。
特点：面板产线阀门用量巨大，SEBA 性价比优势明显，扩口管路系统兼容性好。
三、光伏 & 新能源
案例：电池片制绒清洗设备
配置：SANC‑PA‑MF015、020
工况：硅片制绒，HF、硝酸混合酸药液自动切换；设备内部供液、排液、冲洗。
特点：24h 连续运行，耐混酸腐蚀；对比欧美品牌显著降低设备 BOM 成本，国内光伏设备厂商大批量采用。
四、第三代半导体 SiC / GaN 功率芯片产线
案例：SiC 晶圆湿法清洗、抛光后清洗
配置：SANC‑PA‑MF010‑015
工况：SiC 硬片清洗工艺，强腐蚀药液；功率产线大多成熟制程，SEBA 认证落地较多。
五、配套使用典型搭配方案（工程实操）
CDU 供液支路：
SEBA气动隔膜阀SANC‑PA‑MF+ CV‑1 无 O 圈单向阀 + MSP‑2000 压力变送器 + PFA 扩口接头管材；需要阀位反馈：选用带位置感应版本，向 PLC 回传阀门实际开关状态，避免误动作；
高温药液工况：控制介质≤90℃，压力≤0.5MPa，是该阀推荐工作区间。
SEBA 该阀门在项目中的优劣势总结
优势
PFA 高纯本体，耐 HF、TMAH 等强腐蚀；流道平滑无死角，便于冲洗；
扩口 / 入珠两种接口，兼容国际半导体管路标准，可以直接替换富士金、Parker；
价格低于欧美日品牌，交期更短，适合成熟制程、面板、光伏、功率半导体大规模项目。
局限
不适合泥浆、颗粒介质（CMP 抛光浆不能走隔膜阀，会磨损 PTFE 隔膜）；
7/5nm 先进逻辑产线验证案例少，先进节点项目一般优先英特格、富士金；
工作压力低，只适合低压高纯液体回路，不能用于高压工况。
选型快速参考
表格
| 场景 | 推荐型号 | 接管 |
|---|---|---|
| CDU 机台 POU 小流量 | SANC‑PA‑MF010‑A‑0 | 1/4" |
| 清洗机、光伏制绒 | SANC‑PA‑MF015‑A‑0 | 3/8" |
| 大流量供液 | SANC‑PA‑MF020‑A‑0 | 1/2" |
