定位：韩系 UHP 高纯氟塑料流体元器件厂商，主打CDU / 湿法管路全套 PFA 接液组件，对标 INNODIS、富士金、Entegris 流体阀件；适合成熟制程、功率半导体、FPD、光伏湿线，主打互换替代、交期与性价比优势。
1、SANC 系列 PFA 气动隔膜阀
型号：SANC‑PA‑MF（直通气动）、SANC‑3PEA‑MF（三通气动）；手动款 SM‑PA‑MF，大口径 UF 版本
接液：阀体 PFA、隔膜 PTFE，无金属浸润，最高 90℃，扩口 / 入珠连接，可带阀位反馈
用途：CDU 药液切换、湿法清洗、显影 / 蚀刻回路通断，HF、TMAH、SC1/SC2、酸碱、UPW
亮点：死体积小、适配 CIP，机柜高密度排布，和 INNODIS 隔膜阀同场景直接对标替换
2、CV 系列 PFA 无 O 型圈单向阀
亮点：无 O 圈结构，规避 O 圈溶胀、析出、老化污染痛点，很多设备商指定选型
接液全 PFA，低压止回，防止药液回流、串液，用于泵出口、回液旁路、取样管线
3、MSP 系列 PFA 防腐压力变送器
型号：MSP2000 / MSP5000 / MSP7000（含防爆版 7000EX）
接液膜片全 PTFE/PFA，4-20mA 输出；CDU、循环管路药液压力监测，强腐蚀高纯回路专用，不用衬氟变送器
配套：同系列 PFA 流量开关 SFSR 系列
4、SCTSF / SCTUF 系列 PFA 涡轮流量计
全氟接液、低颗粒，适合清药液、超纯水流量监测、闭环补液控制；不适合高固含 CMP 浆料
小流量版本多用于旁路、稀释回路、药剂定量补给
5、T‑APB 气动 PFA 波纹管定量泵（对标 PILLAR PE）
全 PFA/PTFE 接液、气动驱动、低脉动；高纯清液输送、定量加药、CDU 内部循环
定位和 Pillar PE 波纹管泵是竞品，同样不适合带研磨颗粒浆料
6、PFA 管路连接件
扩口接头、入珠接头、PFA 直管、弯头、变径、端帽；整套同材质，统一配套，减少异质界面污染
配套扩管工装、DIW 纯水喷枪，设备厂做 CDU 柜可以一揽子配齐阀 + 接头 + 管材 + 仪表
7、补充小众阀件
PFA 针阀：SM‑PN 系列，手动微量节流，取样、旁路微调
PFA 背压阀、泄压阀，用于稳压回路
边界
适合：8/12 寸成熟逻辑、SiC/GaN 功率半导体、FPD 面板、光伏湿制程、CDU 化学品分配 ❌ 短板：7nm 以下先进制程认证偏少；无浆料专用泵；压力等级偏低，主打低压高纯清药液回路。
