主打半导体、光伏、面板湿法超纯流体元器件,接液材质以 PFA/PTFE 氟塑料为主,用来替代 Entegris、GEMU 等进口品牌,多用于 CDU 药液分配、清洗机台回路。
一、阀门类
PFA 气动隔膜阀 SANC 系列(SANC-PA-MF/MP)最核心爆款,气动开关;还有手动款 SM 系列;扩口 / 入珠接口,低析出,耐 HF、硝酸、显影液等强腐蚀药液,带位置反馈可选SEBA。
PFA 单向阀 / 止回阀 CV 系列无 O 圈结构,减少溶胀析出污染风险,防止药液回流。
PFA 针阀、手动调节阀 SVF/SDVF 系列取样、旁路微量流量微调。
旋塞阀、PVC 阀:普通腐蚀工况经济型版本。
二、测量传感类
PFA 压力变送器 MSP 系列(MSP1000/2000/3100/5000/7000EX)全氟接液,4-20mA 输出,24V 供电,测高纯药液压力,防爆款可选。
流量计 SCTSF / SCTF / SCTUF 系列涡轮式 PFA 流量计,药液流量监测;配套SFS 流量开关,做流量断流保护报警。
三、管路连接件
PFA 高纯管材(半导体级低析出)
PFA 扩口接头、入珠接头、三通、变径
配套工具:扩管器、扳手等安装工具
PFA 去离子水喷枪
四、泵类
SQB 系列 PTFE / 衬氟隔膜泵:高纯药液输送;还有气动波纹管定量泵,用于精准加药。
五、气动辅助元件
VF 电磁阀、CQ2 薄型气缸、IRV 真空调压阀、AC 油压缓冲器、气源处理组件等,多用于设备气动驱动回路。
行业
半导体晶圆湿法、FPD 面板、光伏电池设备、生物医药、化工高纯药液系统。
补充:还有另外两个同名 SEBA,不要混淆:
SEBA Hydrometrie(德国):水文、水质监测仪表;
SEBA 轮滑:平花轮滑鞋,和流体无关。

