材质与高纯耐腐蚀
接液全 PFA，无金属接触介质，杜绝金属离子析出，适配超纯水、强酸、强碱、光刻配套药液、各种强腐蚀化学品，满足晶圆、面板、光伏湿法工艺的高洁净要求。
O 圈可选 FKM、Kalrez 全氟密封件，耐强腐蚀药液；叶轮 / 轴承多为陶瓷 / 蓝宝石，低析出、不易结晶卡轮。
耐温：常规 0~60℃（部分版本最高 100℃），耐压最高 5 kgf/cm²。
微小流量优化
专门针对小流量、低流速优化叶轮结构，下限很低（常见 0.3 LPM 起），适合支路微量配比、化学供液（CCSS）小管线；
精度：±1% RD（读数），重复性 ±1%，小流量下线性和稳定性优于普通涡轮流量计。
信号与集成
多输出：脉冲、4–20mA、0–5V 模拟量，另带 NPN 开路报警；
DC24V 供电，适配半导体设备 PLC、流量配比控制系统；
非接触式光电检测叶轮，无磁件，不干扰药液、不吸附颗粒。
结构与安装
体积紧凑小巧，适合机台内部狭小空间；
原生 PFA 推锁 / 外螺纹 MP 接头，直接对接 PFA 管路，减少变径、泄漏风险；口径以 1/4" 为主，也有其他规格可选。
适用场景
半导体湿法清洗、刻蚀、显影、药液配比；LCD/OLED、光伏电池制绒清洗、高纯化学品供液系统。
局限
只适合洁净无大量颗粒液体，杂质容易卡叶轮；
粘度不能太高；不适合含大量结晶析出的药液（会慢慢磨损轴承）；
是叶轮机械式，相比超声波、科里奥利，有一定压损。
