SEBA（韩国 SEBAKMT），定位PFA 高纯管路元器件，和一诺迪思 INNODIS 同赛道，主打 CDU 机柜内部阀组、单向阀、压力 / 流量传感、PFA 接头整套管路配套；主力型号 SANC‑PA‑MF 气动隔膜阀、CV‑1 无 O 圈单向阀、MSP‑2000 压力变送器、PFA 扩口 / 入珠接头，大量落地在 8 寸、12 寸成熟制程、功率半导体、封测湿法 。
介质：HF、TMAH、SC1/SC2、显影液、剥膜液、UPW、稀酸稀碱，低压高纯药液回路。
一、CDU 内部具体功能点位
药液源瓶切换支路（主阀）多瓶一用一备、药液切换，SANC‑PA‑MF 做主通断；阀带阀位反馈，PLC 确认阀门真实状态，防止误供液、交叉混药；是 CDU 最核心阀位。
供液支路、回液循环回路一路送往下游湿法机台，一路回流至药瓶保持药液循环、避免沉降、浓度分层；隔膜阀频繁启停，24h 连续运行。
UPW 冲洗 / 吹扫 CIP 回路CDU 换药液批次前纯水冲洗管路，消除残留药液、颗粒；阀体流道平滑死角少，CIP 自清洁能力强，减少批次间污染风险。
排空、泄压、取样支路手动阀 SM‑PA‑MF 用于维护排空、取样；三通气动阀用于一路药液 / 一路冲洗水切换。
防倒流保护（CV‑1 单向阀）无 O 圈 PTFE 单向阀，装在供液出口，停机时防止机台侧药液倒灌回 CDU 主管路、不同药液串混；没有橡胶 O 圈，不会被有机溶剂溶胀析出颗粒，是 CDU 标配。
压力、流量监测点位MSP‑2000 PFA 压力变送器、PFA 流量开关集成在阀组内，联锁缺液、低压、断流报警，给到 Fab MES/SPC 追溯。
二、SEBA 适配 CDU 工况的核心优势
标准 PFA 隔膜阀，互换性强扩口、入珠双接口，和富士金、英特格管路标准兼容，项目改造、存量 CDU 替换可以直接互换，管路不用重新改配管；通径 1/4"、3/8" 是 CDU 机柜最常用规格。
阀体流道死区控制好，适合 CIP一体注塑 PFA 阀体，内部流道圆滑过渡，滞留点少；隔膜结构介质只接触 PFA/PTFE，执行机构完全隔离，杜绝外部油脂、粉尘污染药液；隔膜片可单独更换，不用整阀更换，运维耗材成本低。
阀位反馈标准化，适配 Fab 联锁气动阀可加装位置传感器，硬线回传阀开 / 关信号，CDU 控制柜可以做逻辑互锁：A 瓶打开时 B 瓶必须关闭，规避混药安全事故，满足半导体厂 EHS 要求。
整套配套齐全，机柜高密度集成友好阀 + 单向阀 + 压力传感 + 接头统一品牌；阀体外形紧凑，CDU 机柜阀岛密集排布时省空间；不需要外购多家品牌拼凑，减少接头泄漏点。
性价比 + 交期优势（对标富士金、英特格）韩系路线，价格低于日系、欧美品牌，国内现货交付更快；适合成熟制程、功率器件、封测 CDU 批量项目，是国产化替代主流选择。
三、和一诺迪思 INNODIS 在 CDU 上的对比
SEBA：主打标准单体隔膜阀，阀单独采购，再由集成商在机柜内配管组装阀组；强项是标准化互换、存量替换、传感配套齐全；扩口接头是传统半导体主流；
INNODIS 一诺迪思：招牌是一体化机加工 PFA 集成阀块，多路阀直接在一块 PFA 坯体上加工成型，接头数量大幅减少，抗振更好；Mega‑Lock 锁紧接头，适合设备端喷淋振动工况；但定制阀块交期长，改回路灵活性弱于 SEBA 散阀方案。
选型一句话：标准 CDU 柜、多支路经常改配方、存量改造 → SEBA；机台端喷淋回路、振动大、追求最少接头 → INNODIS。
四、选型边界
适合：成熟制程（28nm 及以上）、功率半导体、封测湿法 CDU、低压（≤5.5bar）、常温高纯腐蚀药液、UPW ： 不适合：
CMP 含硬质磨料浆料，颗粒会划伤 PTFE 隔膜；
7nm 以下先进逻辑线，验证案例偏少，一般优先英特格、富士金；
高压工况、长期＞90℃高温回路；
它是开关阀，不是调节阀，没有流量调节功能，调压 / 调流量要搭配独立调压组件。
